[17a-D419-1~12] 6.4 薄膜新材料

[17a-D419-3] 複合成膜により成膜された低屈折率 Al₂O₃光学薄膜の不均質の改善

〇(M2)加藤 寛康¹、松平 学幸²、室谷 裕志¹ (1.東海大院工、2.（株）シンクロン)

キーワード：Al2O3光学薄膜、複合成膜、不均質

一般的に光学薄膜の屈折率を下げる方法として，膜の密度を下げることにより膜の有効屈折率を下げている．本研究では複合成膜手法を用いて実用的な機械的強度を持つ屈折率1.32程度の低屈折率Al₂O₃光学薄膜の作製に成功した．本発表では複合成膜手法により成膜されたAl₂O₃光学薄膜の不均質の改善を目的とした．複合成膜手法より成膜されたAl₂O₃光学薄膜の不均質は膜の連続的な柱状構造により起こると考えられる．