[17a-D505-1~10] 1.6 超音波

△ [17a-D505-9] 板波における圧電薄板分割によるスプリアス応答の抑圧

〇(M1)原 尚斗¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、山本 泰司² (1.山梨大、2.山本エイデック)

キーワード：弾性表面波デバイス、圧電薄板分割構造

板波には高音速，高結合の伝搬モードが存在するが，同時に複数の伝搬モードが存在するため圧電薄板のカット角や板厚に制約がある．本報告では，スプリアス応答を抑圧させる方法として，圧電薄板を互いにオイラー角の異なる二つの層に分割し接合させた構造を提案し，有限要素法により解析した結果を報告する．提案した分割構造において，主応答が維持されたまま，スプリアス応答が格段に抑圧されることが分かった．