[17a-PA02-1~11] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

[17a-PA02-2] ZnSとZnSeナノ粒子の混合積層膜作製と光学定数評価

〇中谷 開智¹、金 大貴¹、沈 用球¹ (1.大阪公大院工)

キーワード：半導体ナノ粒子、エリプソメトリ、屈折率

ZnSeおよびZnSナノ粒子を混合したナノ粒子混合多積層膜を作製し、混合比と積層膜の光学定数の関係を明らかにすることを目的とした。Layer-by-Layer法によりガラス基板上に、ZnSとZnSeナノ粒子の混合多積層膜（5層）を作製し、分光エリプソメトリにより測定解析を行った。その結果、両ナノ粒子の混合比率の変化に伴い可視光領域の屈折率が変化することが確認できた。