[17a-PA04-1~18] 12.4 有機EL・トランジスタ

[17a-PA04-4] 酸化アルミおよび酸化チタン多層膜を用いたガスバリアフィルム

〇(M1)佐藤 隆盛¹、齋藤 健太郎^1,2、鹿又 健作³、田中 純一⁴、山口 裕之⁴、千葉 貴之³、城戸 淳二³、廣瀬 文彦¹ (1.山形大院理工、2.学振特別研究員、3.山形大ROEL、4.Lumiotec)

キーワード：ガスバリア、原子層堆積法、有機EL