2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

16 非晶質・微結晶 » 16.3 シリコン系太陽電池

[17a-PA05-1~7] 16.3 シリコン系太陽電池

2023年3月17日(金) 09:30 〜 11:30 PA05 (ポスター)

09:30 〜 11:30

[17a-PA05-5] Optimization of 2-step deposition process of i-a-Si:H passivation layer deposited by facing target sputtering

Shasha Li1、Shinsuke Miyajima1 (1.Tokyo Tech)

キーワード:amorphous silicon, surface passivation, sputtering