[17a-PB01-1~25] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17a-PB01-10] 水熱合成ZnGa₂O₄ナノ粒子を用いた薄膜の作製と評価

〇(B)深作 和寿¹、相場 康平¹、大越 康晴¹、吉田 道之²、中根 茂行³、名嘉 節³、石井 聡¹ (1.電機大理工、2.岐阜大、3.物材機構)

キーワード：ZnGa2O4、水熱合成、ナノ粒子

我々のグループではソーラーブラインド光(SB光)検出器の開発を目的としたZnGa₂O₄(ZGO)薄膜の作製とその評価について研究を行っている。SB光とは太陽光に含まれる短波長紫外光であり、オゾン層に吸収され、人体に非常に有害な特徴を持つ。近年ではオゾンホールを通り地表に届くことが報告されており、我々のグループでは酸化物のZGO薄膜を用いた低コストで簡便なSB光検出器の開発に取り組んでいる。