[17a-PB01-1~25] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17a-PB01-15] Ar/H₂雰囲気中でスパッタ成膜したSnO₂薄膜の特性評価

〇小林 翔¹、渡辺 幸太郎¹、川口 拓真¹、石田 哲也¹、相川 慎也¹ (1.工学院大)

キーワード：還元条件、スパッタリング、SnO2薄膜