[17a-PB01-1~25] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17a-PB01-17] Roll-to-roll PAMBD法によるGZO透明導電膜の作製と評価

〇水野 立揮¹、杉山 弘樹¹、村中 司¹、鍋谷 暢一¹、松本 俊¹ (1.山梨大工)

キーワード：Roll-to-roll、GZO、透明導電膜

本研究グループは、これまでに、低温・低損傷プロセスであるPAMBD(プラズマ支援分子線堆積)法を用いて各種フレキシブル基板上へのGa添加ZnO(GZO)透明導電膜の作製と評価を行ってきた。今回は、ロール状のフィルム基板の巻き出し、巻き取り過程で搬送成膜を行うRoll-to-roll PAMBD法を用いたGZOの作製および評価について調査した結果について報告する。