[17a-PB01-1~25] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17a-PB01-18] 燃料電池セパレータ用ITO薄膜の作製

〇(B)服部 太政¹、田中 考²、菊池 瑛嗣^3,4、大塚 知紀¹、荒木 努¹、金子 健太郎³ (1.立命館大理工、2.アイテック(株)、3.立命館大総研、4.京大院工)

キーワード：燃料電池セパレータ、耐腐食膜、導電膜

燃料電池では正極と負極の両方が高温な腐食環境にあるため、セパレータには高い耐食性と導電性の両立が求められる。そこで、セパレータ膜の応用を目的として、導電性に優れたITOに着目した。従来の製造手法では原料溶液にメタノールを使用していたが、安全性を考慮し、今研究では水溶媒での合成を行った。さらに希少金属であるIn比率の削減を目指し、従来のITO膜よりも低いIn組成比での製膜を行い、導電性評価を行った。