[17a-PB01-1~25] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17a-PB01-24] a面サファイア基板上にミストCVD成長した酸化ガリウム薄膜によるMSM型光検出器の基本特性

〇山岡 敬嗣¹、宇野 和行¹ (1.和歌山大学システム工)

キーワード：酸化ガリウム、ミストCVD、MSM型光検出器

a面サファイア基板上にα型酸化ガリウムをミストCVD法を用いて薄膜形成し、白金電極を有するMSM型光検出器を作製し、その基礎特性を評価した。