[17a-PB01-1~25] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17a-PB01-6] ゾル-ゲル法による低抵抗Al添加ZnO透明導電膜の作製

〇安部 功二¹、久保田 佑¹ (1.名工大)

キーワード：酸化亜鉛、sol-gel、透明導電膜