[17p-A305-1~16] 3.11 ナノ領域光科学･近接場光学（旧3.12）

△ [17p-A305-4] メタレンズ一体型MPPCによる受光性能向上について

〇上野山 聡¹、大田 良亮¹ (1.浜ホト中研)

キーワード：SPADセンサ、メタレンズ、ナノフォトニクス

MPPC(Multi Pixel Photon counting)は微弱光検出器であり、LidarやTOF-PETなど多くの分野へ応用が期待されている。MPPCの構成はSingle Photon Avalanche Diode(SPAD)が2次元アレイ状に配列され、各SPADの境界にはトレンチ領域が形成されている。トレンチ領域はクロストークを抑制する半面、低感度領域であるという課題が存在する。本発表ではメタレンズを直接SPAD上に作製することでトレンチ領域に入射する光子を有効領域に導くよう設計しMPPCの性能向上を達成した。