[17p-A307-1~10] 量子コンピューティングデバイス技術の最前線

[17p-A307-2] 超伝導量子ビット集積化のためのジョセフソン接合特性均一化

〇高橋 剛^1,2、高馬 悟覚^1,2、土肥 義康^1,2、佐藤 信太郎^1,2、玉手 修平²、中村 泰信^2,3 (1.富士通、2.理研、3.東大)

キーワード：量子コンピュータ、量子ビット、均一性

超伝導量子コンピュータの量子ビット高集積化には、量子ビットを構成するジョセフソン接合（JJ）特性の均一化が重要である。Al/AlO_x/Alから成る JJの接合抵抗 (R_N)が、斜め蒸着中のレジストマスク側壁への金属蒸着によって影響されることを、蒸着モデルを用いたシミュレーションで明らかにした。さらにR_Nばらつき低減のため二段階蒸着法を導入し、3インチウエハ内のR_N変動係数を4.5%に、チップ内を1.1％に低減した。