[17p-D221-1~13] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

[17p-D221-8] パラジウムナノワイヤー水素ガスセンサーのワイヤ長依存性

〇山口 航¹、Yang Mingyue¹、Sun Yexiao¹、新田 亮介¹、真島 豊¹ (1.東工大フロ研)

キーワード：ガスセンサ、ナノワイヤ

EBLによるナノワイヤ作製技術を用い、SiO₂/Si基板上にパラジウムナノワイヤー水素ガスセンサーを作製した。ワイヤ長は、0.7mm、7mm、14mm、21mmとし、室温で濃度1%の水素ガスを導入した際のガスセンサーの応答特性を測定し、抵抗値変化、応答回復速度のワイヤ長依存性を検討した。