[17p-D419-1~15] 6.4 薄膜新材料

[17p-D419-12] 赤外レーザー蒸着法によるペロブスカイト水素化物MLiH₃薄膜合成

〇(M1)福士 英里香¹、森 史弥¹、原田 尚之²、大口 裕之¹ (1.芝浦工大理工、2.物材研)

キーワード：水素化物、ヒドリド伝導、ペロブスカイト

ペロブスカイト水素化物MLiH₃(M：Sr, Ba)にはヒドリド伝導が報告されている。これらの物性を利用したエレクトロニクス・イオニクスデバイス応用を目指して、我々はこれまで、BaLiH₃の高品質エピタキシャル薄膜合成に挑戦し、昨年度に成功している。この研究で得られた知見を基に、本研究ではよりヒドリド伝導率の高いSrLiH₃薄膜合成に挑戦し、成功した。​また、(100)配向性が強く、エピタキシャル成長していることが分かった。