[17p-D505-1~11] 1.6 超音波

[17p-D505-3] LiNbO₃/SiC構造上の縦型漏洩弾性表面波共振特性の解析

〇(B)武居 諒¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、山本 泰司² (1.山梨大、2.山本エイデック)

キーワード：弾性表面波、異種材料接合

有限要素法(FEM)によりLN/SiC構造上のLLSAWの共振特性を解析した結果，h_Al/λ=0.06，h/λ=0.30においてLNの第3オイラー角を45°，SiCの第2オイラー角を40°とすると，9.05%のFBW，178 dBのアドミタンス比を示し，スプリアス応答も比較的小さい共振特性が得られることがわかった．