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[17p-E102-15] 多結晶LaF3とPDMS複合化によるフッ素イオンセンサ性能の向上
キーワード:フッ素イオンセンサ、フッ化ランタン、PDMS
フッ素イオンセンサの低コスト化と小型化に向けて多結晶LaF3を用いたセンサ電極が研究されており、電極表面に存在する開気孔はセンサ性能を下げると考えられている。本研究では、多結晶電極の開気孔をPDMSで埋めることでセンサ性能向上を目指した。XRD分析結果は多結晶電極とPDMSが統合されたことを示した。多結晶電極のセンサ性能を調べると、PDMS統合によってネルンスト応答の応答濃度範囲と傾きの向上が示された。