[17p-PB03-1~7] 13.9 化合物太陽電池

[17p-PB03-1] スパッタガス圧力がフレキシブル基板上に成膜したMo導電膜の曲げ耐性に与える影響

〇竹内 佑¹、前田 拓人¹、高橋 拓也¹、杉山 睦^1,2 (1.東理大　理工、2.東理大　総研)

キーワード：ポリイミド基板、クラック、モリブデン導電膜