[17p-PB04-1~1] 15.1 バルク結晶成長

[17p-PB04-1] 混晶バルクSiGe結晶の赤外特性

〇荒井 康智¹、椿 浩二²、片野 佳文²、内田 茂樹²、片岡 正巳³、佐々木 慎吾³、佐藤 康則³、松村 億久³、小八重 竹夫³、川崎 拓也³ (1.宇宙機構、2.トプコン、3.ティーディーワイ)

キーワード：シリコンゲルマニウム、赤外屈折率

混晶SiGe結晶は、原料の屈折率がSi（3.4）とGe（4.0）で大きく異なり、10µm帯の赤外線レンズ材料としても有望である。本講演では、SiGe結晶の赤外線レンズ応用に向けた物性計測として、赤外領域の屈折率組成依存性の計測結果等を報告する。