[17p-PB05-1~6] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[17p-PB05-5] 非晶質薄膜への金属粒子分散により形成された固体ナノポアの形成機構

〇(M2)杉本 匠¹、駒井 伶哉¹、内藤 宗幸¹、須藤 孝一² (1.甲南大理工、2.阪大産研)

キーワード：固体ナノポア、金属ナノ粒子、モンテカルロ法

非晶質基板上に金属ナノ粒子を作製し高温熱処理を行うと、ナノ粒子は基板内部へと沈降し、やがて薄膜中に取り込まれる。その際、ナノ粒子上部にはナノポアが形成されることが知られているが、その形成機構はいまだ明らかにされていない。本研究では透過電子顕微鏡法により得られたナノポア形成過程に関する知見を踏まえ、カイネティックモンテカルロシミュレーションを行い、ナノポア形成機構の解明を試みた。