[17p-PB07-1~15] 15.4 III-V族窒化物結晶

[17p-PB07-9] Bイオン注入法を用いた針型マイクロLEDアレイの作製

〇奥井 歩夢¹、西垣 尚太朗¹、西川 敦²、Loesing Alexander²、関口 寛人¹ (1.豊橋技大、2.ALLOS)

キーワード：イオン注入、マイクロLED、絶縁

神経ネットワークの細やかな制御のためには，5-20 µmのサイズをもつ神経細胞に個別にアクセスすることが求められる．そこでBイオン注入法を用いたGaN層の絶縁化によりマイクロLEDの高密度集積を検討した．まず，Bイオン注入の濃度と電気特性の関係性を調べ，GaN層の絶縁化条件を確認した．そして，この条件を基に針構造上に直径5 µmのマイクロLEDを作製し，5000個以上を発光させることに成功した．