[18a-A302-1~6] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[18a-A302-1] Ta₂O₅スパッタ膜の熱刺激電流測定の電極依存性

〇三沢 源人¹、島 久¹、内藤 泰久¹、秋永 広幸¹ (1.産総研デバイス技術)

キーワード：タンタル酸化物、熱刺激電流、電極依存性

タンタル酸化物（Ta₂O₅）は、抵抗変化素子など多様な利用法が提案されている遷移金属酸化物であり、エレクトロニクスデバイスとしての動作の理解やモデリングのために、トラップ準位の定量的な評価の活用が試みられている。我々は、光励起による熱刺激電流を測定することによりトラップ深さを求めているが、デジタル的な抵抗変化を示すIr電極による測定結果に加えアナログ抵抗変化を示すTiN電極についても測定をおこなったので、その電極金属依存性について発表を行う。