[18a-A405-1~9] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[18a-A405-3] モスアイ反射防止構造の透過スペクトルの格子構造依存性

〇小池 陸生¹、川野 将太郎¹、櫻井 治之¹、小西 邦昭¹、三尾 典克¹ (1.東大院理)

キーワード：超短パルスレーザー加工、モスアイ構造、テラヘルツ波

モスアイ構造とは、突起状の構造が材料表面に多数並んだ構造であり、フレネル反射に対して反射防止特性を示す。テラヘルツ帯におけるモスアイ構造の作製は主に超短パルスレーザー加工が用いられており、その多くは正方格子である。本研究ではモスアイ構造の透過スペクトルの格子構造依存性を調査し、六角格子にすることによって広帯域な反射防止を実現可能であることを示した。