[18a-D209-1~14] 1.5 計測技術・計測標準

[18a-D209-4] 半導体カーボンナノチューブを用いた選択的ガス検知の研究

〇平井 孝佳¹、渡辺 伸博¹、加藤 智博¹、村瀬 清一郎¹ (1.東レ)

キーワード：ガスセンサ、カーボンナノチューブ、半導体

ガラス基材上に半導体CNTを感ガス体とするセンサー素子を作製し、CNTの抵抗変化を測定することによってNH₃ガスとNOガスに対するガス応答性を調べた。一方、半導体CNTの下地層としてSnO₂ナノ粒子層を形成した素子についてガス応答性への影響を調べた。半導体CNTのみ成膜された素子はNH₃ガスとNOガスに応答性を示したが、SnO₂ナノ粒子層を下地層とした素子は、NOガスに応答性を示さなくなった。