[18a-D209-1~14] 1.5 計測技術・計測標準

[18a-D209-6] 多種ガス用微量水分発生装置を用いた高速スキャンCRDS微量水分計の性能評価

〇天野 みなみ¹、阿部 恒¹、西澤 典彦²、富田 英生² (1.産総研、2.名大)

キーワード：キャビティリングダウン分光法、湿度、微量水分

レーザの駆動電流を素早く変化させて周波数を掃引する高速スキャンCRDS微量水分計を開発し、10 ppb〜5 ppmのN₂中微量水分の測定性能を標準に基づいて評価した。本発表では、高速スキャンCRDS微量水分計の概要、標準値と測定値の詳細な比較、周波数掃引条件の最適化などについて述べる。