[18p-B401-1~13] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18p-B401-10] N面AlGaN/AlGaN/AlN構造の中間層最適化による電気特性の改善

〇宮本 弥凪¹、松村 航¹、奥野 椋¹、松田 駿佑¹、花咲 光基¹、小脇 岳土¹、稲原 大輔¹、倉井 聡¹、岡田 成仁¹、山田 陽一¹ (1.山口大院・創成科学)

キーワード：窒化アルミニウム、窒化アルミニウムガリウム