[18p-B401-1~13] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18p-B401-4] ピラー形成AlNテンプレート上へのHVPE法によるAlN厚膜成長

〇肖 世玉¹、岩山 章²、上杉 謙次郎^3,4、正直 花奈子¹、岩谷 素顕²、三宅 秀人¹ (1.三重大院工、2.名城大理工、3.三重大共創機構、4.三重大院地域イノベ)

キーワード：窒化アルミニウム、ハイドライド気相成長法