[18p-B409-1~12] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[18p-B409-8] 熱膨張性微粒子を用いた高感度印刷型圧力センサの開発

〇(B)堀 真由香¹、吉田 潤哉¹、兼子 武琉²、Wang Yi-Fei³、関根 智仁^1,2,3、熊木 大介³、時任 静士^1,2,3 (1.山形大工、2.山形大院有機、3.山形大ROEL)

キーワード：圧力センサ、プリンテッドエレクトロニクス、熱膨張性微粒子

マイクロ構造を利用したフレキシブル圧力センサは、軽量で高感度なウェアラブルデバイス等への応用が期待できる。しかしながら、当該センサの構造形成工程の煩雑さに課題があった。我々はこれまでスクリーン印刷による成膜法を用いるとともに、熱膨張性微粒子を利用することでフレキシブルで高感度な圧力センサを簡便に作製することを試みてきた。今回、本センサの構造最適化や特性の詳細な評価を行ったのでその結果について報告する。