[18p-D519-1~15] 6.5 表面物理・真空

[18p-D519-14] ガラスピペットを通過するアルゴンガスの真空コンダクタンスの解析検討

〇高見 知秀¹、大友 千恵¹、金子 直暉¹、澁谷 興¹、宮下 一帆¹、太田 望月¹、米田 里緒¹、小澤 眞美子²、真柄 英之²、小川 修一²、虻川 匡司² (1.工学院大学、2.東北大多元研)

キーワード：ガラスマイクロピペット、ガスフロー、圧力計測

我々は，ガラスピペットの非破壊検査法として，ピペット先端からアルゴンガスを導入して，出口までを通過するガスの真空コンダクタンスについて，入口と出口の圧力を計測することで解析する手法を開発している。本発表では，これまでの解析方法を検討し，入口圧力を50 kPaおよび10 kPaに固定したときの出口側真空度を計測してコンダクタンスを計測することで，測定精度を向上させたので報告する。