[18p-E102-1~13] 12.7 医用工学・バイオチップ

△ [18p-E102-2] アレイ化に向けたフィルタフリー波長センサの画素構造の検討と製作

〇(B)松原 稜弥¹、崔 容俊¹、井出 智也¹、木村 安行¹、飛沢 健¹、髙橋 一浩¹、野田 俊彦¹、澤田 和明¹ (1.豊橋技科大)

キーワード：フィルタフリー波長センサ

二次元の波長情報を取得可能なフィルタフリー波長センサのアレイ化に向けて画素構造の検討，製作および評価を行う。提案するセンサはシリコンへの光の侵入深さが波長ごとに異なることを利用して波長の識別を行う。３×３画素のセンサを製作し、全画素に光を照射して波長応答を確認した。また、光スポット中の一部に異なる波長が照射された場合にその波長と空間的な違いを識別可能か評価を行った。