2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

マイクロビームアナリシス技術部会

[1Ca] マイクロビームアナリシス技術部会

2020年11月19日(木) 09:30 〜 12:15 C会場

座長:白木 将・二宮 啓

12:00 〜 12:15

[1Ca13] 二次電子スペクトルの微細構造 その6:低速オージェ電子の寄与

○橋本哲1),櫻田委大1),後藤敬典2),田沼繁夫2),永富隆晴3) (1)JFEテクノリサーチ,2)物材機構,3)旭化成(株))