[1Ea2] SP部会

[1Ea10] 斜入射反応性スパッタリング法による微細構造化TiN薄膜の作製

溝口貴大¹⁾，中山佳之²⁾，○井上泰志^1,2)，高井治³⁾ (¹⁾千葉工大工，²⁾千葉工大院工，³⁾関東学院大材料・表面工学研)