2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

ポスター講演

[1P] ポスター講演

2020年11月19日(木) 14:30 〜 17:00 P会場

座長:中野 武雄・福田 常男

[1P65] DCスパッタリングによる短波近赤外線フィルター用a-Si:Hの成膜温度依存性

○川又由雄1),伊藤浩1),新國広幸1) (1)東京工業高専電気工)