2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

表面分析・応用表面科学・評価技術(ASS)

[2Dp] 表面分析・応用表面科学・評価技術(ASS)

2020年11月20日(金) 13:00 〜 15:30 D会場

座長:青柳 里果・野島 雅

13:15 〜 13:30

[2Dp02S] サイズ選択・水クラスターイオンビームによる有機薄膜のスパッタリング

○原和輝1),三田大翔1),野島雅1,2) (1)東理大院理工,2)東理大総合)