2020年日本表面真空学会学術講演会

Presentation information

真空科学技術(VST)

[2Ep] 真空科学技術(VST)

Fri. Nov 20, 2020 1:00 PM - 4:30 PM E会場

座長:神谷 潤一郎・栗巣 普揮

2:30 PM - 2:45 PM

[2Ep07] VO2 thin film growth on polyimide sheet and electrical properties before and after peeling

○村上祥慶1),沖村邦雄2),中西俊博3) (1)東海大院工,2)東海大工,3)京大院工)