[2Ep] 真空科学技術(VST)

[2Ep12S] Pumping performance evaluation and discussion on activation mechanism of oxygen-free Ti thin film

○小野真聖¹⁾，佐藤裕太²⁾，増田裕介³⁾，菊地貴司⁴⁾，大野真也²⁾，中山泰生³⁾，間瀬一彦^4,5)，小澤健一⁶⁾，吉岡和夫¹⁾，吉川一朗¹⁾ (¹⁾東大新領域，²⁾横国大工，³⁾東理大理，⁴⁾高エネ研物構研，⁵⁾総研大院高エネルギー加速器科学研究科，⁶⁾東工大理)