2020年日本表面真空学会学術講演会

Presentation information

薄膜(TF)

[3Ba] 薄膜(TF)

Sat. Nov 21, 2020 9:00 AM - 12:00 PM B会場

座長:後藤 哲也・北川 雅俊

9:45 AM - 10:00 AM

[3Ba04] Post-annealing effects on the properties of nitrogen-doped diamond-like carbon films

○長内公哉1),中村和樹1),郡山春人1),小林康之1),遠田義晴1),鈴木裕史1),中澤日出樹1) (1)弘前大院理工)