2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

薄膜(TF)

[3Ba] 薄膜(TF)

2020年11月21日(土) 09:00 〜 12:00 B会場

座長:後藤 哲也・北川 雅俊

11:00 〜 11:15

[3Ba09S] フレキシブル基板上に形成した酸化物薄膜の繰り返し曲げ耐性とそのリアルタイム抵抗測定評価

○熊谷敏宏1),大浦 紀頼1),和田 英男1),小山 政俊1),前元 利彦1),佐々 誠彦1) (1)大工大ナノ材料マイクロデバイス研究センター)