2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

薄膜(TF)

[3Ba] 薄膜(TF)

2020年11月21日(土) 09:00 〜 12:00 B会場

座長:後藤 哲也・北川 雅俊

11:30 〜 11:45

[3Ba11] Co-sputterによるβ-FeSi2薄膜の組成と光学特性の制御に関する研究

○Zhang Xuanwei1),舛中翔馬1),名村今日子1),鈴木基史1) (1)京大院工)