[1Ea01-05] 真空科学技術

[1Ea01] 様々な径のマイクロピペット出入口でのアルゴンガスの圧力計測

*高見 知秀¹、金子 直暉¹、澁谷 興¹、宮下 一帆¹、太田 望月¹、関 志朗¹ (1. 工学院大学)

ガラス製マイクロピペットの先端からアルゴンガスを導入したときの出口側アルゴン分圧を測定することで，真空槽内壁からの放出ガスに影響されないピペット内部分析法を開発した。入口側圧力に対する出口側分圧プロットは二次函数で外挿された。様々なピペット内径に対して，プロットで得られた二次函数の二次の係数値は，片対数プロットで直線外挿できることがわかり，ピペットの内径が本計測により求められるようになった。