[3P01-27] ポスター・企業展示

[3P24] 離散的シミュレーションモデルによるB-A真空計の感度係数の検討

*杉沼 茂実¹ (1. 産業技術総合研究所)

B-A真空計の感度係数を離散的なグリッド電極を仮定したシミュレーションモデルを用いて検討し、文献値と比較した。二次元のモデルであるものの、個々のB-A真空計の感度係数の取り付け管径依存性を説明できた。