半導体洗浄プロセスの熱流体現象に対する分子動力学解析手法の開発と展開［支部賞受賞記念講演］

Presentation information

関西支部第98期定時総会講演会研究討論セッション » GS6　熱工学

Thu. Mar 16, 2023 11:00 AM - 12:00 PM 第6室

座長:澤田晋也(阪大)

11:40 AM - 12:00 PM

*内田翔太¹、藤原邦夫²、芝原正彦² (1. 株式会社SCREENホールディングス、2. 大阪大学)

Abstract password authentication.
Password is required to view the abstract. Please enter a password to authenticate.