The 24th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2023)

講演情報

Oral Presentation

Oral Presentations

Session 7: 3D Micro/Nano fabrication 2

2023年6月13日(火) 16:30 〜 18:10 Room 3 (1F Meeting Room #1)

Session Chairs:Kotaro Obata(RIKEN, Japan)

17:30 〜 17:50

[R3-S07-4] Femtosecond UV laser writing technique for selective etching in fused silica

*Benedikt Hermann1, Yves Bellouard1 (1. EPFL (Switzerland))

キーワード:Fused Silica, Micro Structuring, UV , Etching

C000225

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