4H-SiC surface modified by green femtosecond laser at low fluence<br /><span style="color:#008000;">[Student presentation]</span>

講演情報

Oral Presentation

Oral Presentations

2023年6月14日(水) 09:20 〜 11:00 Room 1 (2F Meeting Room #3)

Session Chairs:Gediminas Račiukaitis(FTMC - Center for Physical Sciences and Technology, Lithuania)

10:40 〜 11:00

*Yi-Hsien Liu¹, Chung-Wei Cheng¹ (1. National Yang Ming Chiao Tung University (Taiwan))

キーワード：femtosecond laser , silicon carbide, crystallinity

C000186

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