The 24th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2023)

講演情報

Oral Presentation

Oral Presentations

Session 11: Micro-machining

2023年6月14日(水) 09:40 〜 11:00 Room 3 (1F Meeting Room #1)

Session Chairs:Yongfeng Lu(University of Nebraska-Lincoln, USA)

10:00 〜 10:20

[R3-S11-2] Fundamental Study on High-quality Micro-shape Fabrication on Monocrystalline Diamond by Nanosecond Pulsed Laser
[Student presentation]

*Kaichi Kawata1, Tsubasa Okubo1, Yasuhiro Okamoto1, Akira Okada1 (1. Okayama University (Japan))

キーワード:Monocrystalline diamond, Nanosecond pulsed laser, Micro-shape fabrication, Acid cleaning, Processing front

C000046

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