Initial stage of Si processing using single pulse of NIR fs-laser

講演情報

Oral Presentation

Oral Presentations

2023年6月15日(木) 09:20 〜 11:00 Room 1 (2F Meeting Room #3)

Session Chairs:Mizue Mizoshiri(Nagaoka University of Technology, Japan,)

10:20 〜 10:40

*Masahito Katto¹, Masanori Kaku¹, Yuji Sato², Masahiro Tsukamoto², Atsushi Yokotani¹ (1. University of Miyazaki (Japan), 2. Osaka University (Japan))

キーワード：ultrashort pulsed laser, Si processing, initial stage

C000146

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