Dual layer lift-off process for microelectrode fabrication on lithium niobate photonic chips using femtosecond laser lithography

講演情報

Oral Presentation

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Session 32: LIPSS, micropatterning and structuring 3

2023年6月15日(木) 16:30 〜 18:00 Room 4 (2F Meeting Room #6)

Session Chairs:Mizue Mizoshiri(Nagaoka University of Technology, Japan,)

17:00 〜 17:20

*Jinming Chen¹, Lvbin Song¹, Zhaoxiang Liu¹, Guanhua Wang¹, Chao Sun¹, Ya Cheng¹ (1. East China of Normal University (China))

キーワード：femtosecond laser lithography, microelectrode fabrication, lift-off

C000009

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