Influence of beam polarizations on silicon carbide grooving via femtosecond laser<br /><span style="color:#008000;">[Student presentation]</span>

講演情報

Oral Presentation

Oral Presentations

2023年6月15日(木) 16:30 〜 18:00 Room 4 (2F Meeting Room #6)

Session Chairs:Mizue Mizoshiri(Nagaoka University of Technology, Japan,)

17:40 〜 18:00

*Jia-Fan Kuo¹, Chung-Wei Cheng¹ (1. National Yang Ming Chiao Tung University (Taiwan))

キーワード：Silicon Carbide, femtosecond laser, vector beam, LIPSS

C000017

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