The 24th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2023)

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Oral Presentation

Oral Presentations

Session 34: Laser, optics and systems for laser microprocessing 1

2023年6月16日(金) 09:10 〜 10:40 Room 2 (3F Multipurpose Room)

Session Chairs:Yoshio Hayasaki(Utsunomiya University, Japan)

10:20 〜 10:40

[R2-S34-4] 3D nanolithography using super-low cost translation stage

Darius Gailevicius1, Sima Rekstyte Paipuliene2, Maciej Kretkowski1, *Vygantas Mizeikis1 (1. Shizuoka University (Japan), 2. Vilnius University (Lithuania))

キーワード：direct laser write, low-cost, nanopositioning, woodpile

C000129

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