Micrometer-scale high-aspect machining of PDMS elastomer using laser plasma EUV radiation

講演情報

Oral Presentation

Short Presentations for Poster Session

2023年6月15日(木) 11:20 〜 12:10 Room 1 (2F Meeting Room #3)

Session Chairs:Mitsuhiro Terakawa(Keio University, Japan)

11:58 〜 12:00

Kotaro Oguchi¹, Yuhao Wang¹, *Tetsuya Makimura¹ (1. University of Tsukuba (Japan))

キーワード：extreme ultraviolet radiation, micromachining, polydimethylsiloxane, PDMS

C000231

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